希尔伯特变换条纹分析法及其在非球面镜测量上的应用

被引：14

作者：

吕捷

王鸣

宦海

张斌

机构：

[1] 南京师范大学物理科学与技术学院,南京师范大学物理科学与技术学院,南京师范大学物理科学与技术学院,南昌大学机电工程学院南京,南京财经大学信息工程学院,南京,南京,南京,南昌

来源：

光学学报 | 2005年 / 06期

关键词：

光学测量; 干涉法; 条纹分析; 希尔伯特变换; 非球面; 离散信号处理;

D O I：

暂无

中图分类号：

O436.1 [干涉与衍射];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

提出了利用离散的希尔伯特变换法解调干涉条纹相位的方法,叙述了希尔伯特变换法解调相位的原理,并从单一的干涉图样中提取出条纹信号的正弦和余弦部分,正弦与余弦比值的反正切即为干涉相位;然后利用泽尼克多项式拟合,实现波前重建;最后讨论了条纹相位的算法,误差修正和测量面形的应用,从而实现对非球面镜的检测。实验表明,该方法可获得均方根(RMS)的精度为λ/10。

引用

页码：781 / 785

页数：5

共 4 条

[1] 用计算全息法检测大口径凸非球面的研究 [J].

常军 ;

李凤友 ;

翁志成 ;

张增宝 ;

姜会林 ;

丛小杰 .

光学学报, 2003, (10) :1266-1268

[2] 运用泽尼克多项式进行物面波前数据拟合附视频 [J].

惠梅 ;

牛憨笨 .

光子学报, 1999, (12) :1113-1116

[3] 运用泽尼特多项式的相位去包裹算法 [J].

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光学学报, 1998, (07) :81-86

[4]

High-performance realtime heterodyne interferometry .2 N. A. Massie,R. D. Nelson,S. Holly. Appl . Opt . 1979

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