双波长拍波干涉测长中拍波干涉条纹尾数的测量方法

被引:4
作者
邓罗根
梁晋文
机构
[1] 北京理工大学工程光学系,清华大学精密仪器系北京,北京
关键词
双波长干涉计量; 拍波干涉仪; 剩余尾数; 大长度测量;
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
描述在拍波干涉测长中使用的几种拍波干涉条纹尾数测量方法,提出一种拍波锁相型对准原理,介绍和比较拍波干涉仪的三个原理方案,讨论测量方法和测量精度等问题.
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