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[1]
Sub-10nmimprintlithographyandapplications .2 CHOUSY,KRAUSSPR,ZHANGW,etal. JVacTechnolB . 1997
纳米器件的一种新制造工艺——纳米压印术(续)
被引：5
作者：
梁迎新
王太宏
机构：
[1] 中国科学院物理研究所
来源：
关键词：
纳米压印;
剥离技术;
量子点;
SEM;
图案;
微沟道;
纳米器件;
D O I：
10.13250/j.cnki.wndz.2003.05.001
中图分类号：
TN405 [制造工艺];
学科分类号：
摘要：
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