平面工艺制作的定向输出微腔半导体激光器

被引：2

作者：

黄永箴

杨跃德

车凯军

王世江

杜云

机构：

[1] 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室

来源：

激光与光电子学进展 | 2009年 / 02期

关键词：

横模; 激光模式; 平面工艺; 微腔激光器; 回音壁模式; 微盘激光器; 谐振腔; 模场分布; 正三角形; 等边三角形; 纵模; 轴向模; 光学微腔; 波导; 馈电设备; 激射;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN248.4 [半导体激光器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

<正> 光学微腔中偶极子自发辐射受到空间和频谱调制,能实现自发辐射增强或抑制效应,而且其有源区体积可以非常小,有利于极低阈值工作和极高的调制速率。在过去的二十多年来,垂直腔面发射激光器、回音壁模式(whisSperig-gauely mode)微腔激光器以及光子晶体微腔激光器三类光学微腔激光器的研究取得了很大的进展。回音壁模式微腔中,模式光线由于其在微腔界面的入射角大于全反射临界角而受到限制,是一种结构非常简单的光学微腔。微盘激光器作为典型的回音壁模式微腔激光器,可利用普通的边发射激光器外延片材料,采用半导体平面工艺制作,引起了人们很大的重视。但圆对称结构的

引用

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