PDMS微流控光纤芯片的研制

被引：1

作者：

苏波

崔大付

刘长春

陈兴

王海宁

机构：

[1] 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室

[2] 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京

[3] 北京

来源：

微细加工技术 | 2005年 / 03期

基金：

国家自然科学基金重大项目;

关键词：

聚二甲基硅氧烷(PDMS); 光纤; 芯片; 微流控沟道;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN492 [专用集成电路];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

用集成在芯片上的光纤作为激发光源,可使激发光斑的大小与微流控沟道的深度尺寸相接近,提高了检测灵敏度,省去了光学聚焦系统。利用二次曝光的方法制作了PDMS光纤芯片,实现了光纤与沟道的对准。对PDMS光纤芯片的加工工艺、封装方法和结构特征进行了探讨。用所制作的芯片对FITC(异硫氰酸荧光素)和以FITC标记的氨基酸进行了检测,结果证明了该芯片的可行性。

引用

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