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微电子工业用的贵金属粉末之进展
被引:6
作者
:
杨荣春
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
贵金属研究所昆明
杨荣春
机构
:
[1]
贵金属研究所昆明
来源
:
贵金属
|
1991年
/ 01期
关键词
:
贵金属;
金属粉末;
电子材料;
进展;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
<正> 1.序言贵金属粉末应用于微电子工业至今有近35年的历史,1974年在日本出现的微片混合电路,使微电子工业更是得到了突飞猛进的发展,同时对贵金属粉末也提出了更高要求。人们将可能日益精确地调节与严格控制它们的物理、化学、微观结构和电学方面的特性或将这些特性组合起来,使它的功能更为卓著。微电子工业用贵金属粉末指的是:银、铂、钯、金和二氧化钌粉。以粉末的特征可分为:黑色粉末、聚集粉末、分散粉末、光亮粉末和片状粉末。微电子工业在美国、日
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页码:60 / 63+56 +56
页数:5
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