共 2 条
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硅微机械加工技术.[M].黄庆安编著;.科学出版社.1996,
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CMOS集成二维风速和风向传感器的研制
被引：20
作者：
张昭勇
秦明
张中平
黄庆安
机构：
[1] 东南大学MEMS教育部重点实验室,东南大学MEMS教育部重点实验室,东南大学MEMS教育部重点实验室,东南大学MEMS教育部重点实验室南京,南京,南京,南京
来源：
关键词：
CMOS集成传感器;
二维风向和风速;
EDP;
D O I：
10.19650/j.cnki.cjsi.2003.04.003
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
140102 [集成电路设计与设计自动化];
摘要：
提出了一种新型结构的二维风向和风速传感器 ,其芯片上集成有运算放大电路。它主要由位于绝缘薄膜上的热敏感元件和加热电阻所组成 ,其中热敏感元件由两组互相垂直且分别对称放置的铝 /多晶硅型热电堆所构成 ,加热电阻位于热敏感元件的中间。具体阐述了此传感器的工作原理、结构尺寸和制备工艺 ,最后给出了试制的芯片和传感器的测量结果
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页码：340 / 342+347
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页数：4
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