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移相干涉技术中移相器的自校正方法
被引:10
作者
:
论文数:
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h-index:
机构:
朱日宏
论文数:
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机构:
王青
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机构:
陈磊
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机构:
陈进榜
机构
:
[1]
南京理工大学电光学院
来源
:
光学学报
|
1998年
/ 07期
关键词
:
移相干涉术,移相器,压电晶体;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TN384,O436.1 [];
学科分类号
:
摘要
:
移相干涉技术(PSI)是80年代兴起的一门干涉图形自动识别技术,移相器作为移相干涉技术的关键部件其移相误差将直接影响到移相干涉技术的干涉图的识别精度。本文提出了一种移相器的自校正方法,即利用移相干涉仪的自身系统,通过快速傅里叶方法,对移相器进行逐步逼近校正。结合移相式红外干涉仪的研制,给出了一组移相器的自动校正的实验,实验表明,校正后的移相器的非线性误差可由原来的5%降低到0.2%。
引用
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页码:101 / 106
页数:6
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