低温等离子体放电的数值模型

被引：7

作者：

胡庆

蒙林

鄢阳

高荣

袁家德

机构：

[1] 电子科技大学物理电子学院

来源：

关键词：

数值模型; 低温等离子体放电; 动力学模型; 流体模型; 蒙特卡罗模型(简称MC); 混和模型;

D O I：

暂无

中图分类号：

O53 [等离子体物理学];

学科分类号：

070204 [等离子体物理];

摘要：

综述了迄今为止各种分析低温等离子体放电物理过程的数值模型,以帮助我们从数值模型出发理解许多至今仍无法解释的现象,同时也为低温等离子体在等离子体处理技术、气体激光等工业应用以及在微电子、材料制备、环保、航空航天、军事等领域的应用提供了研究方法.

引用

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