未找到相关数据
低能Cu原子簇沉积薄膜的分子动力学模拟
被引：4
作者：
李融武
潘正瑛
霍裕昆
机构：
[1] 复旦大学物理二系
[2] 中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室
来源：
关键词：
原子簇;
衬底;
基片;
正二十面体;
多面体;
Cu;
平均结合能;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];
学科分类号：
摘要：
用分子动力学计算机模拟研究了能量为5—20 eV/atorn，结构为正二十面体的（Cu）13原子簇在Cu（001）表面的沉积过程.采用紧束缚势同Moliers势的结合描述Cu原子间相互作用通过原子簇-衬底相互作用的“快照”研究沉积的动态过程．结果表明，当入射能量较低时，轰击弛豫后，入射原子簇在衬底表面发生重构，生成很好的外延层，靶没有任何损伤．随着轰击能量的增加，原子簇原子穿入靶的深度增加.当入射能量达到20 eV/atom时，原子簇完全穿入靶并开始造成辐照损伤，表面出现空位，靶内产生间隙原子.对原子簇与衬底表面能量转换的分析表明，原予簇通过很短时间（零点几皮秒）集体碰撞“激活”轰击区靶原子，提供靶原子迁移重构的激活能
引用
收藏
页码：1113 / 1121
页数：9
相关论文