闭环加速度计CMOS接口电路(英文)

被引：8

作者：

尹亮 ^{[1
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陈伟平 ^{[1
,2
]}

刘晓为 ^{[1
,2
]}

周治平 ^{[1
]}

机构：

[1] 哈尔滨工业大学微电子技术与科学系

[2] 哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室

来源：

光学精密工程 | 2009年 / 06期

关键词：

接口电路; 闭环加速度计; 开关电容; 惯性传感器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

采用高压18V CMOS集成电路工艺,设计了一种开关电容闭环加速度计接口电路芯片。芯片电路中包括开关电容型电荷敏感放大器,PID控制电路以及相关双采样电路。采用相关双采样技术并用大面积PMOS晶体管作前级放大器输入级来消除放大器的1/f噪声、失调电压及KT/C噪声;用高环路增益及静电力平衡技术消除后级电路的1/f噪声、电荷注入和时钟馈通。在相同电极的条件下,利用电荷检测与静电力反馈时域分离法,有效地消除了驱动馈通的影响。设计的芯片采用18V电源电压供电,闭环加速度计刻度因子为420mV/g,噪声密度为10μg/2～1/(Hz) ,芯片面积为15.2mm2。

引用

页码：1311 / 1315

页数：5

共 4 条

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[4]

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