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纳米压痕技术及其应用
被引：182
作者：
黎明
温诗铸
机构：
[1] 清华大学,清华大学精密仪器与机械学系北京市
来源：
关键词：
纳米压痕技术;
力学性能;
弹性模量;
微硬度;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB302 [工程材料试验];
学科分类号：
082905 [生物质能源与材料];
摘要：
介绍了纳米压痕技术在微机电系统、材料科学、摩擦学性能研究、生物工程和信息技术等领域中的应用 ,以及纳米压痕技术在理论研究方面的进展及今后的研究重点。
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页数：4
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