脉冲激光制备ZnO薄膜的结构和光学特性

被引：1

作者：

魏显起 ^{[1
]}

周邦安 ^{[2
]}

满宝元 ^{[1
]}

机构：

[1] 山东师范大学物理与电子科学学院

[2] 潍坊教育电视台

来源：

菏泽学院学报 | 2006年 / 05期

关键词：

PLD; ZnO薄膜; 晶体结构; 表面形貌; 光学特性;

D O I：

10.16393/j.cnki.37-1436/z.2006.05.014

中图分类号：

O484.4 [薄膜的性质];

学科分类号：

摘要：

通过脉冲激光沉积方法在1.3 Pa氧氛围,石英衬底上制备了ZnO薄膜.用X射线衍射(XRD)谱,原子力显微镜(AFM),光致发光谱(PL)表征了薄膜的结构和光学特性.XRD谱显示在生长温度500℃时获得了六方结构的单晶薄膜;AFM显示出随着温度的提升,晶粒提升,而表面粗糙度变小;PL谱显示出强烈的紫外发射和蓝光发射.随着温度的提升,薄膜的结构和光学特性得到显著提高.

引用

页码：49 / 51+80 +80

页数：4

共 5 条

[1]

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