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光热偏转薄膜热导测试系统及其应用
被引：5
作者：
张纪法，王冠中，崔景彪，方容川
机构：
[1] 中国科学技术大学物理系
来源：
关键词：
光热偏转，薄膜，热扩散系数，热导率;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN304.18 [];
学科分类号：
摘要：
根据光热偏转光谱（ＰＴＤＳ）原理，研制成功光热偏转法薄膜热导测试系统，对大量试样进行了测量，结果同文献参考值符合较好，测量重复精度优于５％，为材料科学有关热性质的研究，特别是有关光热偏转薄膜热导率的研究提供了有力的检测手段，为研制高质量金刚石薄膜提供了依据。
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