高功率激光二极管的可靠性研究

被引:7
作者
王乐
刘云
吴东江
王立军
机构
[1] 吉林大学电子科学与工程学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林大学物理学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,吉林长春,吉林长春,吉林长春
关键词
激光二极管; 可靠性; 暗线损伤; 光学灾变损伤;
D O I
暂无
中图分类号
TN365 [半导体激光器件];
学科分类号
080508 [光电信息材料与器件];
摘要
在使用综合参数测试仪测试半导体量子阱激光器的过程中,通过测试的功率曲线和伏安特性,断定激光器受到损伤,由扫描电镜(SEM:ScaningElectronMicroscopy)观察到激光器的腔面出现了熔化,证实激光器性能的改变是由于产生了暗线缺陷(DLD:DarkLineDifect)和灾变性光损伤(COD:CatastrophicOpticalDamage),通过分析,了解到激光器的退化主要是由器件本身的材料、结构以及后期的工艺过程所决定的,在测试器件过程中电浪涌会加速或产生突然灾变性退化,最后给出了用隔离及无吸收窗口来减少损伤的方法。
引用
收藏
页码:212 / 215
页数:4
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