紫外光通信滤光膜的研制

紫外光通信作为一种新型通信手段,以其保密性高、抗干扰能力强等优点在军事领域得到越来越广泛的重视。为满足紫外光通信系统的要求,在Φ210mm的石英基底上,制备了254nm,反射率大于95%,280～600nm平均透射率大于98%并满足角度12°～30°的滤光膜。通过对几种常见紫外材料进行对比研究,选定HfO2和MgF2作为高低折射率材料。以膜系设计理论为基础,通过膜堆的叠加来展宽反射带,结合针法优化,设计出滤光膜的膜系。在薄膜制备中,通过优化各项工艺参数减少了吸收,使用离子辅助沉积提高了成膜质量,并通过对工艺参数重复性的精确控制,提高了膜厚的控制精度。实验结果显示制备的滤光膜满足要求。