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超光滑表面无损检测轮廓仪
被引：2
作者：
杨甬英
卓永模
机构：
[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
来源：
关键词：
干涉术；轮廓仪；粗糙度；表面轮廓；纳米测试;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH741.3 [];
学科分类号：
摘要：
本文所述的超光滑表面无损检测轮廓仪，无需标准参考面；利用双焦干涉作非接触无损检测；利用干涉及电子共模抑制技术可有效地抑制各类噪音；计算机控制测量，即时给出表面粗糙度参数，与ＷＹＫＯ比对，结果吻合．仪器特别适合于均方根值Ｒｑ为纳米及亚纳米量级的软质金属材料及膜层表面测试．其横向分辨率为１μｍ，纵向分辨率为０．１ｎｍ．
引用
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