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Design of an.open-tubular column liquid chromatograph using silicon chip technology. Manz A, Miyahara Y, Miura J, et al. Sensors and Actuators . 1990
PDMS微小流路微加工技术的研究
被引：3
作者：
金鹏
谭久彬
刘岩
机构：
[1] 哈尔滨工业大学自动化测试及控制系!哈尔滨
[2] 黑龙江广播电视大学!哈尔滨
来源：
关键词：
PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷);
高深宽比;
微小结构;
微型全量分析系统(μTAS);
深层刻蚀工艺;
微复制工艺;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN305.7 [光刻、掩膜];
学科分类号：
1401 ;
摘要：
PDMS(Polydimethylsiloxane ,聚二甲基硅氧烷 )微小流路的微加工技术 ,由于具有加工周期短 ,加工成本低 ,可进行批量生产 ,易获得高深宽比的微小结构等特点 ,日益成为微小流路加工技术中一个研究热点。对PDMS微小流路的特性进行了分析 ,实验结果表明 ,该方法完全适用于 μTAS系统及其他生物化学分析仪器中微小流路的加工。
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