溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al(ZAO)薄膜的红外发射率研究

被引：6

作者：

李琨

罗发

苏晓磊

朱冬梅

周万城

机构：

[1] 西北工业大学凝固技术国家重点实验室

来源：

功能材料 | 2008年 / 04期

关键词：

ZAO薄膜; 溶胶-凝胶法; 红外发射率;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383.2 [];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

用溶胶-凝胶法在石英玻璃基底上制备了ZnO∶Al(ZAO)薄膜,研究了热处理温度和Al掺杂含量对薄膜红外发射率的影响。通过XRD和SEM分析了薄膜的微观结构和表面形貌,用光谱辐射计测量了薄膜在8～14μm波段的光谱发射率。结果表明,制备的ZAO薄膜都具有ZnO六角形纤锌矿结构,没有生成杂质相。热处理温度是影响薄膜在8～14μm波段平均红外发射率(ε)的主要因素。随热处理温度的升高和Al掺杂含量的增加,薄膜的ε值有降低的趋势。

引用

页码：590 / 592

页数：3