单晶硅片的低温抛光技术

被引：15

作者：

韩荣久

孙恒德

徐德全

张云

王立江

机构：

[1] 不详

[2] 中科院长春光学精密机械研究所

[3] 不详

[4] 吉林工业大学机械工程学院

[5] 不详

来源：

光学精密工程 | 1998年 / 05期

关键词：

低温抛光,抛光模层,抛光液;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305.2 [表面处理];

学科分类号：

摘要：

介绍了一种光学材料抛光新技术——低温抛光技术。首先把抛光液冷冻成低温抛光模层，并对单晶硅片做抛光实验，实验结果表明这是一种很好的光学材料抛光方法。

引用

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页数：6

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共 2 条

[1]

光学零件制造工艺学[M]. 机械工业出版社 , 曹天宁, 1987

[2]

低温技术与应用[M]. 科学出版社 , 舒泉声编著, 1983