极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文)

被引：4

作者：

朱京涛 ^{[1
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王占山 ^{[1
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王洪昌 ^{[1
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张众 ^{[1
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王风丽 ^{[1
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秦树基 ^{[1
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陈玲燕 ^{[1
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崔明启 ^{[2
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赵屹东 ^{[2
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孙丽娟 ^{[2
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周洪军 ^{[3
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霍同林 ^{[3
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机构：

[1] 同济大学物理系精密光学工程与技术研究所

[2] 中国科学院高能物理所同步辐射实验室

[3] 中国科技大学国家同步辐射实验室

来源：

光学精密工程 | 2007年 / 12期

关键词：

偏振光学元件; 多层膜; 相移片; 检偏器; 极紫外; 同步辐射;

D O I：

暂无

中图分类号：

O436 [物理光学（波动光学）];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征,利用德国BESSY-II同步辐射实验室的偏振测量仪对多层膜的偏振特性进行了测试。测量结果表明,在13 ～19 nm波段,s偏振分量的反射率高于15 %;在15 ～17 nm波段,获得了37 %的反射率。宽带多层膜同样可作为宽角偏振光学元件,在13 .8 ～15 .5 nm波段,宽带透射相移片的平均相移为41 .7°。采用所研制的宽带多层膜相移片与检偏器,建立了宽带偏振分析系统,并对BESSY-II的UE56/1 PGM1光束线的偏振特性进行了系统研究。这种宽带多层膜偏振光学元件可以极大地简化极紫外偏振测量。

引用

页码：1886 / 1893

页数：8