基体温度对诱增透滤光片特性的影响

被引：1

作者：

林永钟

林坚

机构：

[1] 福建师范大学物理与光电信息科技学院

来源：

福建师范大学学报(自然科学版) | 2006年 / 01期

关键词：

基体温度; 诱增透滤光片; 特性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH773 [医用光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

考察了λ=(620±10)nm栅滤光片的制备过程,分析了工艺参数对滤光片性能的影响.结果表明,除了蒸发速率、银层厚度、监控波长等工艺措施外,合适的基体温度是获得优良性能诱增透滤光片的重要因素.

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