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直流磁控溅射制备YBCO高Tc超导薄膜过程中靶成分的在线监测
被引:1
作者
:
刘隆鉴,沈杰,章壮健
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
四川工业学院物理系,复旦大学材料科学系
刘隆鉴,沈杰,章壮健
机构
:
[1]
四川工业学院物理系,复旦大学材料科学系
来源
:
低温物理学报
|
1995年
/ 03期
关键词
:
超导薄膜;
光电倍增管;
直流磁控溅射;
表面成分;
T_c;
YBCO;
单色仪;
在线监测;
中靶;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
O511 [超导电性];
学科分类号
:
摘要
:
本文阐述了用单色仪和光电倍增管对平面直流磁控溅射制备YBCO高Tc超导薄膜过程中靶的放电成份变化情况进行在线监测的实验方法、设备和过程,得到了O2:Ar=1:4时,靶表面成份随时间变化的关系和相应薄膜的质量,并对实验结果进行了讨论.
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页码:242 / 248
页数:7
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薄膜科学与技术手册.[M].田民波;刘德令编译;.机械工业出版社.1991,
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