直流磁控溅射制备YBCO高Tc超导薄膜过程中靶成分的在线监测

被引：1

作者：

刘隆鉴，沈杰，章壮健

机构：

[1] 四川工业学院物理系，复旦大学材料科学系

来源：

关键词：

超导薄膜; 光电倍增管; 直流磁控溅射; 表面成分; T_c; YBCO; 单色仪; 在线监测; 中靶;

D O I：

暂无

中图分类号：

O511 [超导电性];

学科分类号：

摘要：

本文阐述了用单色仪和光电倍增管对平面直流磁控溅射制备ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜过程中靶的放电成份变化情况进行在线监测的实验方法、设备和过程，得到了Ｏ２：Ａｒ＝１：４时，靶表面成份随时间变化的关系和相应薄膜的质量，并对实验结果进行了讨论．

引用

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