直流磁控溅射制备YBCO高Tc超导薄膜过程中靶成分的在线监测

被引:1
作者
刘隆鉴,沈杰,章壮健
机构
[1] 四川工业学院物理系,复旦大学材料科学系
关键词
超导薄膜; 光电倍增管; 直流磁控溅射; 表面成分; T_c; YBCO; 单色仪; 在线监测; 中靶;
D O I
暂无
中图分类号
O511 [超导电性];
学科分类号
摘要
本文阐述了用单色仪和光电倍增管对平面直流磁控溅射制备YBCO高Tc超导薄膜过程中靶的放电成份变化情况进行在线监测的实验方法、设备和过程,得到了O2:Ar=1:4时,靶表面成份随时间变化的关系和相应薄膜的质量,并对实验结果进行了讨论.
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[1]  
薄膜科学与技术手册.[M].田民波;刘德令编译;.机械工业出版社.1991,