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直流磁控溅射制备YBCO高Tc超导薄膜过程中靶成分的在线监测
被引：1
作者：
刘隆鉴，沈杰，章壮健
机构：
[1] 四川工业学院物理系，复旦大学材料科学系
来源：
关键词：
超导薄膜;
光电倍增管;
直流磁控溅射;
表面成分;
T_c;
YBCO;
单色仪;
在线监测;
中靶;
D O I：
暂无
中图分类号：
O511 [超导电性];
学科分类号：
070205 ;
080705 ;
摘要：
本文阐述了用单色仪和光电倍增管对平面直流磁控溅射制备ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜过程中靶的放电成份变化情况进行在线监测的实验方法、设备和过程，得到了Ｏ２：Ａｒ＝１：４时，靶表面成份随时间变化的关系和相应薄膜的质量，并对实验结果进行了讨论．
引用
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页码：242 / 248
页数：7
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