新型智能电化学微加工系统的研究

被引：10

作者：

刘品宽

孙立宁

荣伟彬

蒋利民

田昭武

机构：

[1] 哈尔滨工业大学机器人研究所

[2] 厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室

来源：

高技术通讯 | 2002年 / 06期

关键词：

约束刻蚀剂层技术; 纳米级微定位; 压电陶瓷驱动器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH705 [制造用设备];

学科分类号：

摘要：

约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻蚀加工 ,复制出微孔阵列 ,其排列周期与模板的微锥阵列的排列周期吻合得很好 ,同时在铜板上也成功进行了微孔刻蚀加工

引用

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