氩辉光放电中离子轰击阴极的蒙特卡罗模拟

被引：1

作者：

王德真

宫野

马腾才

机构：

[1] 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

[2] 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室大连

[3] 大连

[4] 大连

来源：

计算物理 | 1993年 / 02期

关键词：

辉光放电; 蒙特卡罗方法; 能量分布;

D O I：

10.19596/j.cnki.1001-246x.1993.02.012

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

由蒙特卡罗方法模拟离子在氩直流辉光放电阴极位降区的运动,包括了离子与中性原子的电荷交换碰撞和弹性散射,得到了离子轰击阴极的能量分布和入射角分布。对于只考虑电荷交换碰撞的情形,比较了蒙特卡罗模拟结果和玻尔兹曼方程的解析结果,得到了完全相同的的离子轰击阴极的能量分布。模拟结果还表明绝大部分离子近于垂直入射阴极。

引用

页码：215 / 219

页数：5