64×64点阵达曼光栅的设计与实现

被引：13

作者：

席鹏

周常河

赵帅

王淮生

刘立人

机构：

[1] 中国科学院上海光机所!上海

来源：

中国激光 | 2001年 / 04期

关键词：

达曼光栅; 光互连; 光刻法;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN252 [光波导]; O438.2 [傅里叶光学];

学科分类号：

0702 ; 070207 ; 0803 ;

摘要：

分析了偶数点阵达曼光栅的设计原理与特性。利用数值优化方法 ,获得了一组 6 4× 6 4点阵达曼光栅解。光栅模版用电子束制版法制成 ,其最细线宽为 2 .5 μm。用光刻法实现了这一位相光栅 ,并比较了不同位相光栅制作法的优缺点。原子力显微镜测得的光栅深度曲线与 6 4× 6 4点阵实验结果表明 ,此光栅结果接近理论值。

引用

页码：369 / 371

页数：3

共 8 条

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