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硅膜片电容压力传感器CAD
被引：2
作者：
徐科军
马文
机构：
[1] 合肥工业大学电气系
来源：
关键词：
压力传感器;
硅膜片;
CAD;
电容;
非线性误差;
D O I：
10.13873/j.1000-97871990.03.008
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文用数值方法计算C型和E型硅膜片电容压力传感器的输入、输出关系及性能指标,给出了能减少非线性误差的新的电极形状。
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