未找到相关数据
微型红外气体分析器
被引：2
作者：
张永怀
白鹏
刘君华
机构：
[1] 西安交通大学电气工程学院
来源：
关键词：
MEMS;
红外气体分析器;
光学;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744.41 [];
学科分类号：
摘要：
着重阐述了日本、法国、英国、瑞士等国家不同研究机构MEMS红外气体分析器的最新研究动态 ,以及原理和结构特点。这些微型红外气体分析器因其体积小、成本低 ,在分光类型、调制方式和检测手段等方面各具特色 ,近年来得到了迅速发展。其研究思路对于国内研究气体分析仪器的同行也具有一定的借鉴作用
引用
收藏
页码：24 / 26+47
+47
页数：4
相关论文