电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅰ)——物理模型与理论方法

被引：13

作者：

金晓林

杨中海

机构：

[1] 电子科技大学物理电子学院

来源：

物理学报 | 2006年 / 11期

关键词：

电子回旋共振放电; 粒子模拟; 蒙特卡罗; 电离;

D O I：

暂无

中图分类号：

O53 [等离子体物理学];

学科分类号：

070204 ;

摘要：

采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法对电子回旋共振(ECR)放电中的电离过程进行了模拟,其中带电粒子与微波的相互作用由PIC方法的电磁模型描述,粒子间的碰撞过程由MCC方法描述.考虑的碰撞类型有电子与中性粒子的弹性、激发、电离碰撞,离子与中性粒子的弹性、电荷交换碰撞,碰撞截面均依赖于能量而变化.阐述了理论分析的过程,为数值模拟ECR放电奠定了基础.

引用

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