基于动态模糊系统模型的压电陶瓷驱动器控制

被引：18

作者：

李朋志 ^{[1
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葛川 ^{[1
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苏志德 ^{[1
,2
]}

闫丰 ^{[1
]}

隋永新 ^{[1
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杨怀江 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

[2] 中国科学院大学

来源：

光学精密工程 | 2013年 / 02期

关键词：

压电陶瓷驱动器(PZT); 迟滞; 动态模糊系统; 前馈; 轨迹跟踪;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP273 [自动控制、自动控制系统];

学科分类号：

080201 ; 0835 ;

摘要：

针对压电陶瓷驱动器(PZT)的迟滞非线性对周期性超精密跟踪精度的影响,对基于Takagi-Sugeno(T-S)型模糊规则的动态模糊系统(DFS)前馈+PI控制方法进行了研究。介绍了DFS模型前提部分和结论部分的辨识方法;结合直接逆模型控制和迭代学习控制的思想,提出了周期性轨迹跟踪的DFS前馈+PI控制方法。最后,针对20Hz的三角波和正弦波期望轨迹进行了跟踪控制实验。实验结果表明:提出的控制方法对三角波和正弦波期望轨迹的最大跟踪误差分别为0.25%和0.27%,相对于PI控制,跟踪精度分别提高了52倍和64倍,而最大跟踪绝对误差分别降低到5.1nm和5.5nm。结果显示这种控制方法易于实现,周期性轨迹跟踪精度高。

引用

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