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用亚波长正弦介质光栅设计1/4波片
被引:6
作者
:
卢向东
论文数:
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0
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0
机构:
四川大学物理科学与技术学院
卢向东
傅克祥
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机构:
四川大学物理科学与技术学院
傅克祥
王植恒
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机构:
四川大学物理科学与技术学院
王植恒
麻健勇
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机构:
四川大学物理科学与技术学院
麻健勇
机构
:
[1]
四川大学物理科学与技术学院
[2]
四川大学物理科学与技术学院 成都
[3]
成都
来源
:
激光技术
|
2003年
/ 04期
关键词
:
亚波长正弦介质光栅;
反射型1/4波片;
方位角;
偏振光;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
O436.1 [干涉与衍射];
学科分类号
:
070207 ;
0803 ;
摘要
:
采用扩展边界条件法 ,得出亚波长正弦介质光栅正入射反射型 1/ 4波片的结构参数。发现在一定精度范围内TE波与TM波的相位差能够在一段较大的槽深区域满足设计要求 ,从而降低了实际控制刻蚀深度的难度。讨论了线偏振光转化为圆偏振光的方位角问题。
引用
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共 2 条
[1]
亚波长表面正弦介质光栅的高反射特性
[J].
傅克祥
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机构:
四川大学物理系!成都
傅克祥
;
王植恒
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四川大学物理系!成都
王植恒
;
张大跃
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四川大学物理系!成都
张大跃
;
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机构:
张靖
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机构:
张奇志
.
中国激光,
1999,
(09)
:799
-802
[2]
Chang S L,Kong J A. Radio Sci . 1982
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[J].
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张大跃
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;
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.
中国激光,
1999,
(09)
:799
-802
[2]
Chang S L,Kong J A. Radio Sci . 1982
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