晶体表面畸变的X射线双晶衍射研究

被引：5

作者：

朱南昌

李润身

陈京一

许顺生

机构：

[1] 中国科学院上海冶金研究所

[2] 中国科学院上海冶金研究所上海

[3] 上海

来源：

关键词：

晶体; 表面畸变; 摇摆曲线; 双晶衍射; 射线源;

D O I：

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中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文介绍了表面畸变的晶体中X射线动力学衍射分层模型的计算原理和通过计算机模拟双晶摇摆曲线获得畸变层信息的方法,讨论了不同的双晶排列方式对摇摆曲线和模拟计算的影响,分析了畸变层内应变、损伤分布与摇摆曲线的关系,并以B+注入Si（100）晶片为例,给出了模拟结果。

引用

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