一种二元整形元件激光直写方法的实验研究

被引：14

作者：

陈林森

邵洁

王雪辉

徐兵

解剑峰

沈雁

机构：

[1] 苏州大学信息光学工程研究所

来源：

光子学报 | 2005年 / 03期

关键词：

二元光学; 衍射; 位相编码; 激光直写;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN24 [激光技术、微波激射技术];

学科分类号：

摘要：

为了实现具有复杂位相结构的二元光束整形元件,提出了采用方光点的激光直写系统来逐点光刻浮雕位相结构的方法,通过双远心投影缩微光路获得5～20μm方点,光点尺寸对应于最小位相单元,从而获得了位相结构的高质量直写分析了高斯光点和方光点位相单元结构对二元整形元件衍射效率的影响,方形两台阶二元整形元件的+1级衍射效率达到31%,给出了实验结果

引用

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