硅微振动陀螺的理论分析

被引:3
作者
茅盘松,王修伦,吴绍夫
机构
[1] 东南大学
关键词
硅,微型机械,振动陀螺,动力学方程;
D O I
10.13873/j.1000-97871995.06.002
中图分类号
TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
080202 ;
摘要
应用欧拉动力学基本方程,对双框架结构的硅微型振动陀螺进行了理论分析,给出了完整的陀螺动力学方程,并且从灵敏度和驱动技术的角度对这种陀螺的机理作了探讨。
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