电容式微位移传感器检测电路的设计

被引:22
作者
孙立宁
晏祖根
陈立国
机构
[1] 哈尔滨工业大学
[2] 哈尔滨工业大学 黑龙江哈尔滨
[3] 黑龙江哈尔滨
关键词
电容; 传感器; 微位移测量; 检测电路;
D O I
暂无
中图分类号
TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
080202 ;
摘要
设计了一种改进的电容运算放大器检测电路,该电路主要包括正弦激励源电路、电容检测电路、精密全波整流电路和增益滤波电路。实验证明,采用该电路的传感器,非线性误差小于 0.1%,分辨率优于 0.1μm。
引用
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页数:3
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共 2 条
[1]  
传感器的理论与设计基础及其应用[M]. 国防工业出版社 , 单成祥 编著, 1999
[2]  
传感器原理、设计与应用[M]. 国防科技大学出版社 , 刘迎春 编著, 1989