共 1 条
[1]
Nanometre precision mechanisms. Atherton P D. Measurement and Control . 1998
Queensgate纳米工作台的关键技术
被引：1
作者：
杨圣
曲扬铭
张丽敏
机构：
[1] 中国科学技术大学九系
[2] 中国科学技术大学九系 安徽合肥
[3] 安徽合肥
来源：
关键词：
纳米技术;
纳米工作台;
超精定位技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH703 [结构];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
纳米工作台在纳米技术领域、超大规模集成电路制造和超精密工程中有着广泛的应用前景。现重点介绍Queensgate纳米工作台的关键技术 ,并对其相关的理论问题、工作原理和技术思想进行了必要的补充
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