表面覆膜SnO半导体氢敏元件

被引:2
作者
穆宝贵
黎丽琳
机构
[1] 哈尔滨通江晶体管厂
关键词
半导体气敏; 覆膜处理;
D O I
10.13873/j.1000-97871991.01.007
中图分类号
学科分类号
摘要
在制备烧结体SnO2半导体气敏元件的基础上,对元件表面进行了覆膜处理,得到具有高选择性的氢气敏感元件。
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