未找到相关数据
压电／电致伸缩微位移器件与应用（上）
被引：8
作者：
蔡鹤皋，孙立宁，安辉
机构：
[1] 哈尔滨工业大学机器人研究所
来源：
关键词：
微位移技术;
微位移机构;
电致伸缩;
弹性形变;
机器人;
人工智能;
精密机械;
生物工程;
生物学;
大规模集成电路;
压电;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN304 [材料];
学科分类号：
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要：
介绍了国内外几种压电／电致伸缩微位移器件，并着重介绍了压电／电致伸缩微位移器在精密机械、大规模集成电路设备、生物工程、机器人等方面的超精密定位技术上的应用和发展前景。
引用
收藏
页码：38 / 40
页数：3
相关论文