子孔径拼接干涉检测及其精度分析

被引：16

作者：

张蓉竹

杨春林

石琦凯

许乔

蔡邦维

机构：

[1] 四川大学光电系,成都精密光学工程研究中心,成都精密光学工程研究中心,成都精密光学工程研究中心,四川大学光电系成都,成都,成都,成都,成都

来源：

光学学报 | 2003年 / 10期

关键词：

物理光学; 子孔径拼接; 检测; 精度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

介绍了利用小口径干涉仪检测大口径光学元件的方法 ,从统计的角度出发 ,详细地推导了子孔径拼接干涉检测技术中拼接参量的具体求解过程 ,以及使用统计回归方法分析了拼接检测系统精度。并通过实验对该理论进行了实际分析运算

引用

页码：1241 / 1244

页数：4

共 9 条

[1]

Measurementoflargeplanesurfaceshapesbyconnectingsmall apertureinterferograms. OtsuboM,OkadaK,TsujiuchiJ. Opt.Engng . 1994

[2]

统计学原理--推断性统计学. BernsteinS,BernsteinR. SciencePress . 2000

[3]

Stitching interferometer for large optics: Recent development of a system. Bray M. Proceedings of SPIE the International Society for Optical Engineering . 1999

[4]

Thepreparatoryanalysisonthemodulationofthelargeapertureopticalelements. ZhangRongzhu,CaiBomgwei,YangChunlinetal. 中国激光 . 2002

[5]

Stitching interferometer for large plano optics using a standard interferometer. Bray M. Proceedings of SPIE the International Society for Optical Engineering . 1997

[6]

Testingthelargeapertureopticalcomponentsbythestichinginterferometer. ZhangRongzhu,YangChunlin,XuQiaoetal. 光学技术 . 2001

[7]

Factorshavinginfluenceontheaccuracyofmultiapertureoverlapscanningtechnique[MAOST]andanalysis. ChengWeiming,LinYoulue,ChenMingyi. 光学学报 . 1993

[8]

Computercontrolledopti-calfinishingforwavefronterrorcorrection. WANGJian,CHENGXian-hua,LIJie,etal. 光学精密工程 . 2003

[9]

最优化理论与算法. ChengBaolin. TsinghuaUniversityPress . 1998

← 1 →