激光束偏转法非球面面形测量和计算

被引：9

作者：

朱秋东

郝群

机构：

[1] 北京理工大学光电工程系

来源：

关键词：

激光束偏转法; 非球面面形; 线阵CCD;

D O I：

10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2002.01.007

中图分类号：

TH744.5 [];

学科分类号：

摘要：

提出了一种综合测量非球面面形的激光束偏转法 ,针对不同类型的非球面 ,共提出了三种方案 :平移法、转动法和平移转动法。该方法可测各种非球面 ,通用性强。并对激光束偏转法中对面形测量精度有极大影响的激光束反射角的测量作了重点介绍。实验结果显示 ,该方法测量精度达到λ/5～λ/10 ,接近干涉法的水平

引用

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