硅微机械与光纤组合式列阵传感器的研制工艺

系统地介绍了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器的特殊制造工艺。在工艺实验的基础上对硅微悬臂梁列阵形成的光刻技术，各向异性腐蚀的机理与方法，梁膜厚度的精确控制，传感器的一体化等技术进行了较深入的研究，并对实验结果进行了详细地分析。这些工艺与常规的ＩＣ工艺兼容，为这类微传感器和执行器的研制打下了较好的实验基础。