类金刚石膜的实用化现状与今后展望

DLC膜是一种类似金刚石的非晶碳膜,具有优异的摩擦学性能,被应用于有高耐磨性和低摩擦要求的机械零件。已开发出多种DLC膜沉积工艺。近年来,DLC膜可在多种材料上沉积,应用范围正在扩大。在承受高负荷的摩擦学领域,DLC膜现可应用于切削刀具。DLC膜可应用于易被热能损伤的橡胶或高分子基体。从保护地球环境的观点出发,应开发可用于汽车部件的DLC膜以改善燃油经济性。此外,除了摩擦学用途外,还开发出诸如高分子材料阻气层的新应用。本章对DLC膜的新用途和新研究作了评述。