金属氧化物气敏传感器(Ⅱ)

被引：5

作者：

徐毓龙

G.Heiland

机构：

[1] 西安电子科技大学电子材料与电子元器件教研室!西安

[2] IPhysikalishesInstitutderRWTH

[3] Aachen!Germany

来源：

关键词：

气敏传感器; 氧分压; 金属氧化物; 点缺陷; 晶体缺陷;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

摘要：

<正>金属氧化物气敏传感器是金属氧化物与被测气体发生作用后,改变了它的电性质,从而把气体成份、浓度等化学信息转换成电的信息的一种元器件.金属氧化物的电性质与材

引用

页码：63 / 67

页数：5