干涉仪自适应抗振的空间移相术

被引：8

作者：

吴栋

陈磊

陈进榜

朱日宏

高志山

机构：

[1] 解放军镇江船艇学院教研室,南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院,南京理工大学电光学院镇江,南京理工大学电光学院,南京,南京,南京,南京,南京

来源：

光子学报 | 2003年 / 08期

关键词：

空间移相术; 自适应抗振; 移相式干涉仪;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

根据时域移相算法的概念 ,提出了一种空间移相术 ,它能够检测因外界振动导致条纹抖动而引起的干涉图样的空间相位变化 .运用这种技术在Twyman Green移相式干涉仪中建立了一套自适应抗振系统 ,它可以实时测量振动引起的相位变化大小 ,并通过反馈器件PZT实时校正干涉条纹的相位 ,使得干涉条纹稳定以保证光学测量的正常进行 ,与此同时PZT还作为移相器件 .

引用

页码：969 / 972

页数：4

共 4 条

[1]

Active phase-shifting interferometers for shape and deformation measurements. Yamaguchi I,Liu J,Kato J. Optical Engineering . 1996

[2]

Extendedaveragingtechniqueforderivationoferror compensatingalgorithmsinphase shiftinginterferometry. SchmitJ,CreathK. Applied Optics . 1995

[3]

Interferometric optical metrology: basic system and principles. Wyant J C. Laser Focus . 1982

[4]

New compensating four-phase algorithm for phase-shift interferometry. Schwider J,Falkenstorfer O,Schreiber H,et al. Optical Engineering . 1993

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