超精密偶件测量仪的误差运动综合数学模型

被引：5

作者：

陈智锋

张绍宗

吕海宝

张海峰

机构：

[1] 湖南长沙国防科学技术大学精密机械与仪器研究所

[2] 超精密加工技术国防科技重点实验室

[3] 超精密加工技术国防科技重点实验室长沙

[4] 北京

[5] 长沙

来源：

基金：

国家自然科学基金重点项目;

关键词：

误差; 接触; 坐标变换;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG806 [技术测量方法];

学科分类号：

120111 [工业工程];

摘要：

把超精密测量机床误差元素分为几何运动误差和热变形、接触变形等非刚体效应误差,利用齐次坐标变换方法结合测头与工件之间联结链的封闭特性,给出了超精密偶件测量仪几何和热误差以及探头和工件接触变形误差的综合数学模型。

引用

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页数：5