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Ti(C,N)薄膜的复合硬度与本征硬度的研究
被引:21
作者
:
徐可为,白辰东,何家文
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
徐可为,白辰东,何家文
不详
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机构:
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
不详
机构
:
[1]
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
来源
:
金属学报
|
1995年
/ 21期
关键词
:
Ti(C,N)薄膜,复合硬皮,本征硬度;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TB332 [非金属复合材料];
学科分类号
:
0805 ;
080502 ;
摘要
:
本文对不同性质的膜─基体系通过确定C的具体取值对Joensson-Hogmark模型予以修正,研究厂等离子体增强化学气相沉积Ti(C,N)薄膜的硬度及其随成分组织的变化。Ti(C、N)薄膜具有较小的晶粒尺寸和较高的残余压应力,其硬度远高于一般的整体材料,在确定的。工艺条件下,其值上要取决于膜的含碳量,大体成线性增加关系。
引用
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页码:429 / 434
页数:6
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材料表面与界面[M]. 清华大学出版社 , 李恒德, 1990
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