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CCD抽样过程对傅里叶变换轮廓术测量的影响
被引：11
作者：
陈文静
陈锋
苏显渝
曹益平
张启灿
向立群
机构：
[1] 四川大学光电科学技术系
来源：
关键词：
傅里叶变换轮廓术(FTP);
抽样;
测量精度;
D O I：
10.16136/j.joel.2005.09.016
中图分类号：
O438.2 [傅里叶光学];
学科分类号：
摘要：
针对傅里叶变换轮廓术(FTP)测量中的离散过程理论分析存在的不足,讨论了以前被忽略的CCD的取样过程以及CCD像元尺寸对FTP测量的影响,建立了完整的CCD抽样的数学模型,分析了CCD像元的光敏单元尺寸大小对FTP测量的影响,讨论了CCD取样所引起的信号失真和频谱混叠问题,给出了相关的表达式和判断准则,使得基于离散傅里叶变换的FTP分析方法更贴近实际测量。
引用
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页码：1074 / 1079
页数：6
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