超精密渐开线齿形的测量方法

被引:27
作者
王立鼎 [1 ]
娄志峰 [1 ]
王晓东 [1 ]
马勇 [1 ]
张玉玲 [2 ]
机构
[1] 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
关键词
精密齿轮; 渐开线齿形; 测量原理; 双盘式测量仪;
D O I
暂无
中图分类号
TG86 [齿轮测量及其量仪];
学科分类号
0805 ;
摘要
分析了双基圆盘式渐开线测量仪的测量原理,其具有结构简单、测量过程中无测头位置引起的阿贝误差等特点。该仪器采用交叉弹簧片的铰链结构作为误差传递杠杆,其灵敏度高、无间隙。经过对仪器的主要测量误差源进行补偿后,其系统的测量不确定度(U95)<±0.5μm,测量精度可以满足1级渐开线齿形的测量要求。通过与其它渐开线齿形测量方法的比较,双基圆盘式渐开线测量仪仅在测量自动化和多功能性等方面不如CNC齿形量仪,其在测量精度与制造经济性等方面更具优势,是超精密渐开线齿形测量的理想方法。
引用
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页数:6
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