纳米精度双频激光干涉仪非线性误差的确定方法

介绍了确定纳米精度双频激光干涉仪非线性误差的两种方法：纳米比对方法和幅值估算方法，前者通过将双频激光干涉仪和计量院纳米精度F-P干涉仪进行纳米比对确定非线性误差，具有测量结果直接和米定义溯源的优点；后者通过测定偏振干涉仪测量信号的幅值调制度估算非线性误差，具有简单易行、受外界因素干扰小等优点。实验结果表明，对于此干涉仪系统，非线性误差的测量结果小于2．5nm，估算结果为1．4nm，两者在误差允许的范围内一致。