提高氧化物介质膜层损伤阈值的研究

被引：14

作者：

刘强

林理彬

蒋晓东

黄祖鑫

甘荣兵

唐方元

机构：

[1] 四川大学物理系

[2] 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

[3] 四川大学物理系四川成都

[4] 四川成都

[5] 四川绵阳

[6] 四川成都

来源：

中国激光 | 2003年 / 07期

关键词：

薄膜物理学; 损伤阈值; 清洗; 镀膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

采用新清洗工艺对K9玻璃基片进行了清洗,镀制了多种氧化物介质膜,镀膜后的膜层损伤阈值比一般清洗要高出一倍多。用等离子体光法和相衬显微镜观察法相结合来判断损伤,分别用1-on-1测试法和R-on-1测试法确定了膜层的激光损伤阈值。

引用

收藏

页码：637 / 641

页数：5

相关论文

共 3 条

[1] 制备工艺对HfO2薄膜抗激光损伤能力的影响 [J].

马平 ;

柴林 ;

邱服民 ;

顾元元 .

强激光与粒子束, 2001, (01) :31-33

[2] 激光与介质薄膜作用过程的等离子体诊断 [J].

倪晓武 ;

陆建 ;

贺安之 ;

马孜 ;

周九林 .

光学学报, 1990, (04) :322-327

[3]

Optical cleanliness specifications and cleanliness verification .2 Irving F. Stowers. Research Report at LLNL,Contract No. W- 7405-ENG -48 .